Rishige RSG2000单频射频电源

      全固态射频源系列产品广泛应用于大学实验室，医疗设备、工业材料加工设备（如射频溅射、刻蚀、平行板、射频激光、ICP、RIE、CVD和PVD)，同时也应用在感应和介质加热的工业领域。用户可根据不同功率（50瓦，100瓦，200瓦，500瓦，1KW，2KW，3.5KW，6KW，10KW，12.5KW）、不同射频频率（13.56MHz /27.12MHz /40.68MHz / 60MHz/ 81.36MHz/ 100MHz) 及脉冲频率（0～100KHz）选用相应的机型。我们也欢迎用户根据自己的特殊需要来洽谈，为其系统订做专用频率和功率的全固态射频电源。 

Rishige RSG2000单频射频电源特点

输出功率：	额定功率1 ~ 100% ，连续可调，正反向功率VFD显示
功率稳定度：	≤ ±0.5％(额定功率输出时)
频率稳定度：	≤ ±0.005%
功率响应时间：	额定输出启动 ＜ 10ms
频率信号：	标准正弦波，进口石英晶振激励
信号频率：	13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/81.36MHz/100MHz（或其它工业频率）
信号输出形式：	连续波；矩形方波（由加脉冲调制器调制成方波，脉冲宽度10微秒到连续波，占空比可用户定义，方波上升沿和下降沿不大于3微秒）
输出阻抗：	50Ω
承受驻波比：	VSWR ≤ 2.0
谐波输出：	二次谐波低于 -50dB，三次及更高次谐波低于 -55dB
供电电压：	AC220V±15％供电或AC380V±15％三相供电，50/60Hz 直流供电为外置独立模块
整机效率:	≥ 65％（2000W输出时）
冷却方式：	水冷（外接1公斤水压）
环境温度：	0 ~ 40℃
相对湿度：	< 85%
控制接口：	模拟接口，或采用RS485、RS232 通讯协议
输出接口：	标准同轴接头输出，阴性
长寿命:	核心部件进口晶体管，每天24小时连续工作可使用30年。
重量:	21.5kg
操控模式
产品采用面板手动操控方式和远程计算机模拟及通讯操控方式，液晶面板显示各项数值，既适合大学实验室、科研院所研发使用，也适合自动化生产线闭环控制使用。
射频电源保护
1.过热保护 2.驻波保护 3.过压保护 4.过流保护

Rishige RSG2000单频射频电源选型

可提供如下射频频率产品：

13.56MHz

27.12MHz

40.68MHz

81.36MHz

100MHz（或其它工业频率）