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型号 |
M4 |
M6 mini |
M6 |
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外形（长*宽*高） |
650*490*620mm |
650*490*620mm |
650*490*620mm |
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重量（KG） |
约45kg |
约47kg |
约52kg |
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电力需求 |
220VC,50~60Hz |
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卡盘 常温标准 |
卡盘尺寸 |
4" |
6" |
6" |
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样品固定方式 |
环形真空吸附（可定制多孔吸附） |
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背电极测试功能 |
有/样品台电学独立悬空 |
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卡盘材质 |
不锈钢/铜镀镍或镀金
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卡盘 移动平台 |
X-Y行程 |
100*100mm |
150*150mm |
150*150mm |
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移动精度 |
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Theta行程 |
360°旋转（粗调）；微调范围±8°，微调精度0.002° |
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卡盘升降 |
N/A |
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卡盘快速拉出 |
N/A |
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控制方式 |
小型旋钮驱动 |
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针座平台 |
平台尺寸 |
长540mm*宽310mm |
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卡盘到平台距离 |
8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） |
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针座数量 |
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针座平台升降 |
N/A |
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针座定位方式 |
磁力吸附或真空吸附 |
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光学特性 |
显微镜规格 |
标配体视显微镜（可选配视频显微镜） |
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放大倍数 |
16~100X |
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CCD像素 |
3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字） |
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显微镜控制行程 |
显微镜调焦架控制可360度旋转，Z轴：50.8mm |
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显微镜移动精度 |
N/A |
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镜头切换方式 |
N/A |
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点针规格 |
X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm |
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机械精度 |
10μm/2μm/0.7μm |
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漏电精度 |
同轴1pA/V @25℃；三轴100fA/V @25℃; 三轴10pA@3kv @25°C，
测试条件：接地屏蔽的干燥环境（空气露点低于-40°C）
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接口形式 |
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口 |
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